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步進(jìn)式投影式光刻
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技術(shù)規格
參數
規格
波長(cháng)
405nm
倍率
1X
焦深
±100um
解析
15um
曝光視場(chǎng)
215x110mm
出光效率
>70%
不均勻性
<4%
外形尺寸
805x460x1787mm(長(cháng)x寬x高)
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